2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-A12-1~16] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月18日(木) 13:15 〜 17:30 A12 (E301)

14:45 〜 15:00

[18p-A12-7] 大型スパッタカソードにおけるIGZO TFT特性の均一性向上

磯部辰徳,新井真,清田淳也,齋藤一也 (アルバック)

キーワード:IGZO,スパッタカソード