[18p-C1-1~10] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[18p-C1-6] 損傷した半導体表面のレーザープロセスによる光学特性改善

^○野村航，川添忠，大津元一 (東大院工)

キーワード：レーザープロセス,SiC,レーザーダメージ