2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

18.JSAP-OSA Joint Symposia » 18.4 Optical Micro-sensing,Manipulation,and Fabrications

[18p-C3-1~9] 18.4 Optical Micro-sensing,Manipulation,and Fabrications

2014年9月18日(木) 14:00 〜 17:15 C3 (B31)

17:00 〜 17:15

[18p-C3-9] Reversible deformation of photoresist structures fabricated by direct laser write technique

Vygantas Mizeikis (Shizuoka University)

キーワード:Direct laser write,Laser microfabrication,Photoresist