PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 16:00 〜 18:00 [18p-PA6-38] SEMに搭載されたTES型X線検出器システムの特性評価 ○高野彬1,新木優春1,前畑京介1,伊豫本直子1,安田和弘1,前野宏志2,椎山謙一3,真崎祐次4,田中啓一5 (九大工1,九大超顕微センター2,純真学園大保健医療3,日本原燃4,日立ハイテクサイエンス5) キーワード:TES,SEM,EDS