2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[18p-PB5-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB5会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB5-8] 大気圧プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜の形成に向けたプラズマ/ミスト相互作用の解析

竹中弘祐,内田儀一郎,節原裕一 (阪大接合研)

キーワード:ミストCVD