13:30 〜 15:30
△ [18p-PB7-4] 斜め堆積窒化スズ薄膜の結晶性と微細構造に対する基板温度の影響
キーワード：斜め堆積法,スパッタリング,離散的柱状構造
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー
[18p-PB7-1~4] 8.5 プラズマナノテクノロジー
2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB7 (第2体育館)
ポスター掲示時間13:30～15:30(PB7会場)
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー
2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB7 (第2体育館)
ポスター掲示時間13:30～15:30(PB7会場)
13:30 〜 15:30
キーワード：斜め堆積法,スパッタリング,離散的柱状構造