2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.2 電子顕微鏡,評価,測定,分析

[19a-A14-1~10] 7.2 電子顕微鏡,評価,測定,分析

2014年9月19日(金) 09:00 〜 11:45 A14 (E305)

09:15 〜 09:30

[19a-A14-2] 円環状絞りによるSTEM焦点深度拡大の検証実験

川崎忠寛1,2,3,石田高史3,松谷貴臣4,児玉哲司5,生田孝6,丹司敬義1 (名大エコ研1,JFCC2,名大院工3,近大理工4,名城大理工5,大阪電通大6)

キーワード:円環絞り,STEM,焦点深度