[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19a-A16-6] サブ原子層カーボンを用いたSi基板上Ge薄膜の平坦性向上に関する検討

^○畠山真慈¹，伊藤友樹¹，川島知之^1,2，鷲尾勝由^1,2 (東北大院工¹，東北大工²)

キーワード：Ge