DLC Film Deposited on Micro-Electrode with NBECVD for Bio-LSIs

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一般セッション(口頭講演)

12．有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.7 医用工学・バイオチップ

[19a-A2-1~10] 12.7 医用工学・バイオチップ

2014年9月19日(金) 09:00 〜 11:45 A2 (N1)

11:30 〜 11:45

^○（P）Xijiang Chang¹，菊地良幸^1,2，久保田智広¹，井上久美^3,4，末永智一^3,4,5，野沢俊久²，寒川誠二^1,5 (東北大流体科学研究所¹，東京エレクトロン²，東北大院環境科学³，東北大マイクロシステム融合研究開発センター⁴，東北大原子分子材料科学高等研究機構⁵)

キーワード：DLC,NBECVD,Bio-LSI