PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 0 11:15 〜 11:30 [19a-A23-7] 磁界励起活性化イオンプレーティング法により形成したc-BN膜の水素透過特性 ○野間正男1,山下満2,田村元紀3 (神港精機1,兵庫工試2,電気通信大3) キーワード:水素ガスバリア,窒化ホウ素膜