[19a-A9-1~10] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [19a-A9-5] イオン照射でYAlO₃に生じる損傷に熱処理が与える影響

^○（D）森本貴明¹，井上貴博¹，金子昇司¹，針間正幸¹，大木義路^1,2 (早大先進理工¹，材研²)

キーワード：YAlO3,イオン照射,アニール