2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB2 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB2会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB2-11] 赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅲ)

齋藤和弘1,渡部良一2,渡邊良祐2齋藤洋司1,2 (成蹊大院理工1,成蹊大理工2)

キーワード:ボロメータ,酸化バナジウム膜