09:30 〜 11:30
[19a-PB2-5] 超臨界二酸化炭素流体を用いた酸化ジルコニウム薄膜の化学的堆積
キーワード：薄膜,超臨界流体,酸化ジルコニウム
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB2 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB2会場)
一般セッション(ポスター講演)
06．薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB2 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB2会場)
09:30 〜 11:30
キーワード：薄膜,超臨界流体,酸化ジルコニウム