[19a-PB4-1~9] 14.1 探索的材料物性

[19a-PB4-9] キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化

^○羽渕仁恵¹，藤田詩織¹，飯田民夫¹，大橋史隆²，伴隆幸²，久米徹二²，野々村修一² (岐阜高専¹，岐大工²)

キーワード：キセノンイオン注入,シリコンクラスレート