[19a-PB5-1~17] 15.6 IV族系化合物

[19a-PB5-2] 多方向走査透過電子顕微鏡法によるSiCの転位解析

^○佐藤高広¹，大津喜宏²，生頼義久¹，一色俊之³，福井宗利¹ (日立ハイテクノロジーズ¹，日立ハイテクマニュファクチャ＆サービス²，京都工芸繊維大³)

キーワード：4H-SiC,走査透過電子顕微鏡,基底面転位