2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[19a-S8-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:00 S8 (S8)

10:15 〜 10:30

[19a-S8-6] ECR多価イオン源におけるマイクロ波の近接条件と新たな加熱機構

西岡田卓也,今井洋太,熊倉翔,長家知生,佐藤文信,加藤裕史,飯田敏行 (阪大院工)

キーワード:ECRプラズマ