[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-12] Ga₂O₃の結晶多形 -基板と成長ガスの影響-

^○赤沢方省 (NTT MI研)

キーワード：Ga2O3,結晶相,epitaxy