[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [19p-A12-4] サファイア基板への酸化タングステン薄膜の分子線エピタキシャル成長

^○（M2）八木信治¹，松尾昌幸¹，小池一歩¹，原田義之¹，佐々誠彦¹，矢野満明¹，稲葉克彦² (大工大ナノ材研センタ¹，リガクX線研究所²)

キーワード：酸化タングステン,分子線エピタキシー,構造解析