[19p-A16-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19p-A16-4] スパッタエピタキシー法を用いたSi直上へのGeSn薄膜の形成

^○塚本貴広¹，広瀬信光²，笠松章史²，三村高志²，松井敏明²，須田良幸¹ (東京農工大院工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：スパッタエピタキシー,ゲルマニウムスズ