[19p-A22-1~12] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-A22-8] エピタキシャルTiN/AlN/TiN接合の作製と評価

^○中山武，成瀬雅人，明連広昭，田井野徹 (埼玉大)

キーワード：エピタキシャル