2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

2014年9月19日(金) 14:00 〜 18:45 A27 (N302)

16:45 〜 17:00

[19p-A27-11] 赤外吸収法によるβ-FeSi2/Si ナノ混合相の酸化挙動

森田洸介1,中村達哉1,小林博之1,達見隆秀1,鳴海一雅2,前田佳均1,2 (九工大院情報工1,原子力機構ASRC2)

キーワード:赤外吸収法,鉄シリサイド,ナノ混合相