[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-16] SiN膜で保護したβ-FeSi₂膜の熱処理後の残留酸素の評価

^○嘉藤貴史¹，若林整²，佐々木亮人²，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：太陽電池,テツシリサイド,バリウムシリサイド