[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-7] 真空蒸着法で作製したBaSi₂薄膜のキャリアライフタイムの評価

^○（M1）中川慶彦¹，原康祐^1,2，末益崇^2,3，宇佐美徳隆^1,2 (名大工¹，JST-CREST²，筑波大³)

キーワード：真空蒸着,BaSi２,キャリアライフタイム