[19p-A7-1~13] 9.3 ナノエレクトロニクス

[19p-A7-12] 薄膜グラファイトを用いた面状ヒータの発熱温度観察

^○齋藤孝成，又吉美佐枝，白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード：グラファイト,薄膜ヒータ,温度観察