2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年9月19日(金) 14:15 〜 19:00 S10 (S10)

17:00 〜 17:15

△ [19p-S10-11] HBr/O2プラズマへのCl2添加によるプラズマプロセスダメージ

○叶丸孝治，野尻康弘，尾上誠司，新村忠 (東芝 生産技術センター)

キーワード：プラズマ誘起ダメージ