[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-3] 窒化ガリウム薄膜をプラズマ中に曝したときの基板温度の効果

^○小川大輔，中野由崇，中村圭二 (中部大)

キーワード：窒化ガリウム,誘導性プラズマ,フォトルミネッセンス