[20a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-A12-5] V添加ZnO薄膜形成におけるAr/O2組成の効果

^○安倍大，川島知之，鷲尾勝由 (東北大院)

キーワード：酸化亜鉛