PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 09:00 〜 09:15 [20a-A20-1] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(8)真正点欠陥とその複合体の検出の検討 ○井上直久1,5,後藤安則2,関洋文3,渡邉香4,河村裕一5 (東京農工大1,トヨタ自動車2,東レリサーチセンター3,システムズエンジニアリング4,大阪府立大5) キーワード:シリコン,赤外吸収,点欠陥