[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-3] ＭＣＺシリコン単結晶のバルクライフタイムに対する低炭素化の効果

^○日笠光朗，永井勇太，中川聰子，鹿島一日兒 (グローバルウェーハズ)

キーワード：シリコン,ライフタイム,炭素