11:30 〜 11:45
[20a-A27-10] 実チップにおける薄膜界面の密着強度評価法
キーワード：密着強度
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
[20a-A27-1~10] 14.1 探索的材料物性
2014年9月20日(土) 09:00 〜 11:45 A27 (N302)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
2014年9月20日(土) 09:00 〜 11:45 A27 (N302)
11:30 〜 11:45
キーワード：密着強度