[20a-PA1-1~4] 3.1 光学基礎・光学新領域

[20a-PA1-3] 透過光モニタリングによるナノファイバーのエッチング制御

^○山本和広¹，山口堅三²，横山士吉¹，大友明³ (九大先導研¹，香川大²，情通機構³)

キーワード：ナノファイバー,集束イオンビーム,エッチング