[20a-PA2-1~11] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[20a-PA2-11] 分子シミュレーションによるSi表面の空孔クラスタとNi原子の相互作用の解析

^○木谷哲¹，橋本修一郎¹，武良光太郎¹，今津研太¹，小花絃暉¹，神岡武文²，渡邉孝信¹ (早大理工¹，豊田工大²)

キーワード：半導体,分子動力学