[20p-A10-1~8] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20p-A10-7] RFスパッタ法で作製したアルミナにおけるナノギャップ電極を用いた抵抗スイッチ現象

^○兼平達也，宮邉徹，小渕敦生，中岡俊裕 (上智大理工)

キーワード：sputter,抵抗変化メモリ,アルミナ