[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-10] Nドープに向けたMOCVD法を用いて作製したZnO膜のNOガス効果

^○（PC）原田善之¹，王剣宇¹，関口隆史¹，知京豊裕¹，鈴木摂²，角谷正友¹ (物材機構¹，コメット²)

キーワード：酸化亜鉛,有機金属気相成長法,NOガス