[17a-E10-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17a-E10-7] ZnO単結晶薄膜にドープされたWの表面偏析

^○鈴木拓，安達裕，齋藤紀子，橋口未奈子，坂口勲，大橋直樹，菱田俊一 (物材機構)

キーワード：酸化亜鉛,表面偏析,イオン散乱分光法