[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[17a-F4-10] 低真空下における揮発性試料の二次イオン質量分析に関する検討

^○草刈将一，藤井麻樹子，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大)

キーワード：二次イオン質量分析,低真空