2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-PG2-1~5] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年3月17日(月) 09:30 〜 11:30 PG2 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[17a-PG2-4] イオン注入法がSi1-XCX/Si(001)構造の欠陥形成過程に及ぼす効果

中込諒1，酒井翔一朗1，藤原幸亮1，古川洋志1，○有元圭介1，山中淳二1，中川清和1，宇佐美徳隆2，星裕介2，澤野憲太郎3 (山梨大クリスタル研1，名古屋大2，東京都市大総研3)

キーワード：Silicon Carbon