PDF ダウンロード スケジュール 17 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [17a-PG3-5] NF3添加酸化によるSiO2/SiC(0001)界面の安定化 ○(M1)名越政仁,蓮沼隆,山部紀久夫 (筑波大) キーワード:炭化ケイ素,二酸化ケイ素