[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D6-11] 同軸型アークプラズマ堆積法により作製されたホウ素ドープ超ナノ微結晶ダイヤモンド混相膜の電気特性と化学結合構造

^○片宗優貴¹，大曲新矢²，瀬戸山寛之³，吉武剛¹ (九大¹，産総研²，九州シンクロトロン光研究センター³)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド