[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17p-F1-10] TMS蒸気の電子衝突断面積の推定

^○（M1）川口悟，佐藤孝紀，伊藤秀範 (室蘭工大)

キーワード：TMS,Electron swarm method,Monte Carlo simulation