[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17p-F1-3] 表面波プラズマ支援RFスパッタにおける絶縁性ターゲットの表面電位評価

^○萩原敏哉¹，野田智紀¹，豊田浩孝^1,2 (名大¹，名大プラズマナノ工学センター²)

キーワード：マイクロ波プラズマ,RFプラズマ,スパッタリング