[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17p-F1-6] 大気圧プラズマを用いて成膜されたヒドラジンによる抵抗変化薄膜の還元処理

^○山田昌樹¹，酒井道¹，中村敏浩² (京大工¹，大阪電気通信大工²)

キーワード：プラズマスパッタ,抵抗スイッチング素子,ヒドラジン