[17p-F1-1~16] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17p-F1-7] 大気圧プラズマ化学気相堆積法による超撥水薄膜の形成

^○（M2）孫昿達，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：大気圧プラズマ,撥水膜,化学気相堆積法