[17p-PG1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[17p-PG1-1] パルスポーリング条件が微細加工したPZT薄膜の圧電特性に与える影響

^○牧本なつみ¹，鈴木靖弘^1,2，前田龍太郎¹，及川貴弘³，舟窪浩³，小林健¹ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

キーワード：強誘電薄膜