[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-27] ZnO-SnO₂薄膜を用いたTFTの低温形成（Ⅱ）

^○佐藤和郎，山田義春，村上修一，筧芳治，櫻井芳昭 (大阪府立産技研)

キーワード：TFT,酸化物,ZTO