[18a-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-D6-7] n型ダイヤモンドCVD薄膜のリンドープ効率

^○（PC）大谷亮太¹，山本卓¹，小泉聡^1,3，山崎聡^2,3 (物材機構¹，産総研²，JST-CREST³)

キーワード：ダイヤモンド,CVD