[18a-D8-1~12] 13.2 絶縁膜技術

△ [18a-D8-1] 光電子制御プラズマCVDによるゲートスタック用DLCの誘電率制御：Low-kからHigh-kまで

^○（M1）林広幸¹，鷹林将²，楊猛¹，小川修一¹，尾辻泰一²，高桑雄二¹ (東北大多元研¹，東北大通研²)

キーワード：光電子制御プラズマ,DLC,誘電率