2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.1 成長技術

[18p-E2-1~18] 17.1 成長技術

2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:00 E2 (E102)

15:45 〜 16:00

[18p-E2-10] 低温熱CVD法による300mmウェハ上への多層グラフェン合成プロセスの開発

西出大亮,松本貴士,伊東伴,山崎雄一,片桐雅之,宮崎久生,加賀谷宗仁,井福亮太,和田真,齋藤達朗,北村政幸,渡邉勝仁,佐久間尚志,梶田明広,酒井忠司 (LEAP)

キーワード:グラフェン,Graphene