[18p-F1-1~15] 7.1 X線技術

[18p-F1-1] 「ビーム応用分科内招待講演」（30分）50～4000 eV領域の軟Ｘ線平面結像型分光器の開発と電子顕微鏡への応用

^○今園孝志¹，小池雅人¹，河内哲哉¹，長谷川登¹，小枝勝²，長野哲也²，笹井浩行²，大上裕紀²，米澤善央²，倉本智史²，寺内正己³，高橋秀之⁴，飯田信雄⁴，村野孝訓⁴ (原子力機構量子ビーム¹，島津製作所デバイス部²，東北大多元研³，日本電子周辺機器事業部⁴)

キーワード：軟Ｘ線発光,回折格子,電子顕微鏡