PDF ダウンロード スケジュール 11 いいね! 0 14:00 〜 14:15 △ [18p-F3-1] 熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写 ○譚ゴオン1,井上直哉1,船迫友之1,三田正弘2,奥田徳路3,森潤一4,小山浩司5,中川勝6,松田晃史1,吉本護1 (東工大1,協同インターナショナル2,SCIVAX3,フロントラインテク4,並木精密宝石5,東北大6) キーワード:熱ナノインプリント,PMMA