2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

2014年3月18日(火) 14:00 〜 19:00 F3 (F301)

14:00 〜 14:15

[18p-F3-1] 熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写

譚ゴオン1,井上直哉1,船迫友之1,三田正弘2,奥田徳路3,森潤一4,小山浩司5,中川勝6,松田晃史1,吉本護1 (東工大1,協同インターナショナル2,SCIVAX3,フロントラインテク4,並木精密宝石5,東北大6)

キーワード:熱ナノインプリント,PMMA